E-Dissertationen: Browsing E-Dissertationen by Author "Santen, Nicole"
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Dotierungsabhängigkeit des elastischen Verhaltens von Silizium
Santen, Nicole (2010-03-12)Für eine kontinuierliche Steigerung der Leistungsfähigkeit von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen spielt neben der fortschreitenden Miniaturisierung auch gedehntes Silizium (strained silicon) eine ...