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Dotierungsabhängigkeit des elastischen Verhaltens von Silizium
(2010-03-12)
Für eine kontinuierliche Steigerung der Leistungsfähigkeit von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen spielt neben der fortschreitenden Miniaturisierung auch gedehntes Silizium (strained silicon) eine ...
Defekt-Komplexe an substitutionellen Fremdatomen in Calciumfluorid
(2010-03-12)
Calciumfluorid wird aufgrund seiner hervorragenden optischen Eigenschaften und seinem sehr hohen Schwellwert für laserverursachte Schäden als Linsenmaterial in Laserapplikationen und vor allem in der 193 nm-Mikrolithographie, ...